CrCuN薄膜择优取向与价电子结构的关系研究

基于固体和分子经验电子理论（EET）计算了CrN和Cu的价电子结构及晶面电子密度的变化，分析了CrCuN纳米复合膜择优取向与价电子结构的关系。计算结果显示，CrN(100)/Cu(111)具有较低的电子密度差，薄膜中易存在此种界面结构。当薄膜中Cu含量较多时，Cu易于（111）择优生长，而CrN则按(100)CrN/(111)Cu位向关系在其表面形核，从而有助于CrCuN薄膜中CrN[200]取向的增强。该计算结果与实验事实相符合，为Cr-N基纳米复合膜的微结构研究和设计提供了新思路