Ni/Zr-Co-Re堆栈层薄膜吸气剂的吸气性能及Ni作用机理研究

本文采用磁控溅射的方法制备了带有Ni保护层和Zr-Co-Re（Re代表稀土元素）主体层的堆栈层薄膜吸气剂。通过X射线光电子能谱仪（XPS）分析了薄膜吸气剂内部O元素的含量分布，研究了薄膜吸气剂中Ni层的防氧化作用和机理。研究表明（1）Ni/Zr-Co-Re堆栈层薄膜吸气剂在160℃保温3h的条件下可以有效激活，并具有高于Zr-Co-Ni单层薄膜吸气剂的吸气性能。（2）Ni保护层降低了吸气剂的被氧化程度，促进了表面吸附的H2分子的解离和扩散