镁含量和热处理对Zn1-xMgxO薄膜结构的影响

摘要:采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了Zn1-xMgxO(x=0.1,0.2,0.3, 0.4,0.5,0.6)薄膜。X射线衍射谱测试结果发现,在0.1＜x＜0.3范围内薄膜仍然保持氧化锌六角形纤锌矿结构, (002)衍射峰向大角度方向移动,超过0.3时出现氧化镁立方相。对于Zn0.7Mg0.3O薄膜,在5、5.5、6℃/min的升温速率下, 升温速率越快结晶程度越好。在相同升温速率下,随着退火温度从500℃升高到560℃,样品的结晶程度变好,当退火温度达到590℃时结晶程度变差