Sb掺杂Sn2S3薄膜的制备及光学特性

摘 要：真空蒸发制备Sb掺杂Sn2S3多晶薄膜（玻璃衬底），研究不同比例Sb掺杂对Sn2S3薄膜的结构、表面形貌、化学组分及光学特性的影响。 实验给出5%掺Sb的薄膜经380℃热处理30min（氮气保护）得到正交晶系的Sn2S3：Sb多晶薄膜，薄膜表面颗粒大小均匀，膜面致密有轻微颗粒聚集现象。薄膜体内Sn：S化学计量比为1：1.49，掺Sb后为1:0.543，薄膜中Sn、S、Sb分别以Sn2+、Sn4+、S2-、Sb5+存在。纯Sn2S3薄膜的光透过率在350nm-500nm波长范围内基本为零，随着波长增大，光透过率增加，其直接光学带隙为2.2eV，吸收边为564nm；掺Sb后薄膜的光透率明显降低，光学带隙为1.395eV比未掺杂时减小0.805eV，吸收边发生红移为889nm