溅射工艺对Cu/SiO2/Ni80Fe20复合结构丝形貌及磁性能影响
Keywords: 复合结构丝,转速,巨磁阻抗效应,颗粒大小
Abstract:
本文利用射频磁控溅射方法在自旋的Cu上制备了Cu/SiO2和Cu/SiO2/Ni80Fe20两个系列复合结构丝。利用扫描电镜、阻抗分析仪分析了溅射SiO2时基底丝旋转速率对复合结构丝的表面微观结构和巨磁阻抗效应的影响。实验结果表明：镀层表面颗粒大小随着制备SiO2时转速的增加先减小后增大，Cu/SiO2/Ni80Fe20复合结构丝的巨磁阻抗效应则随着转速的增加先增大后减小
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