硅薄膜中的结构缺陷研究进展

硅薄膜作为制备硅薄膜太阳电池的重要材料，得到了广泛研究和应用，而硅薄膜中的各种缺陷及缺陷密度则对薄膜电池的转换效率和稳定性有着至关重要的影响。本文对硅薄膜中的缺陷种类、缺陷研究方法以及缺陷对薄膜性能的影响进行总结，期望对提高和改善硅薄膜质量乃至硅薄膜太阳电池转换效率和稳定性提供一定的指导