单晶PMnN-PZT铁电薄膜制备与表征

在MgO基底上利用磁控溅射方法沉积三元系铁电薄膜6%PMnN-94%PZT (6% Pb(Mn1/3, Nb2/3)O3- 94%Pb（Zr0.45, Ti0.55）O3) ，采用淬火方法后期热处理薄膜。分别运用面内和面外X射线衍射（XRD）技术分析薄膜长相及晶体结构，运用高分辨率扫描电镜（SEM）观察薄膜的晶粒表面及截面结构。实验结果表明，所沉积薄膜为单晶钙钛矿结构薄膜，薄膜铁电性呈现明显的硬响应，薄膜结构及性能优良