钛合金表面磁控溅射TiB2-TiN复合薄膜的摩擦磨损性能

采用室温磁控溅射技术在钛合金(Ti6Al4V)表面制备SiC/TiB2-TiN双层薄膜，SiC为中间层，研究了TiB2-TiN复合薄膜的组织结构和摩擦磨损性能。结果表明：TiB2-TiN复合薄膜具有纳米尺度颗粒（畴）的微结构特征，SiC薄膜与基材和TiB2-TiN复合薄膜间都具有明显且呈梯度的元素扩散；在载荷200 g、室温Kokubo人体模拟体液条件下，与氮化硅(Si3N4)球（直径4 mm）对摩，其平均摩擦系数约为0.22，磨损速率在10-6 mm3/(m·N）级；并且TiB2-TiN复合薄膜对Kokubo人体模拟体液中的Ca、P元素具有很强的黏附能力