PZT薄膜厚度对BMT/PZT复合薄膜结构及介电性能的影响

本文采用液相旋涂法制备了BMT/PZT复合薄膜，研究了PZT薄膜厚度对BMT/PZT复合薄膜结构及介电性能的影响。 随着PZT薄膜厚度的增加，BMT/PZT复合薄膜的介电常数呈线性增加。当PZT薄膜的厚度较小时，会明显地增加BMT/PZT复合薄膜的介电损耗；当继续增加PZT薄膜的厚度，介电损耗反而下降直到与BMT薄膜的介电损耗值接近。这是由于PZT的介电常数与介电损耗均明显高于BMT薄膜所致，而异质界面的存在抑制了PZT薄膜中畴壁的运动，使其对复合薄膜介电损耗的影响减弱。研究结果表明，PZT薄膜的引入可以提升BMT薄膜的介电常数而对介电损耗的影响不大