磁场下镍电沉积层织构及表面形貌

摘要：本文研究了磁场作用下电沉积Ni金属膜的生长过程，磁场与电极表面夹角取35?。测试结果表明电流密度、基底织构和磁场对薄膜的织构和表面形貌均具有重要影响。随着电流密度的增加，薄膜的面外织构由（111）为主变为（200）为主，面内织构显著改善；晶粒尺寸随着电流密度的增加显著增大。在电流密度较小时，磁场的作用比较显著，使得面外（111）晶面取向受到抑制，（200）取向得到增强，面内织构也有一定的改善。同时，磁场使晶粒变小，形状更加规则，整体也更均匀。本文还对磁场、电流和基底的作用机制进行了分析