紫外光刻法制备图案化聚合物纳米管/线阵列的研究

本论文探讨了紫外光刻技术制备图案化聚合物纳米管/线阵列的方法，研究制备过程中的各种影响因素，并找到了最佳的实验条件。采用溶液浸润法，成功制备了不同图案的聚合物纳米结构阵列。溶液浓度为6 wt%，得到的是聚合物纳米管阵列；溶液浓度为10.0 wt%，得到的是聚合物纳米线阵列