尺寸效应对TiC/α-C:H涂层织构行为的影响

利用磁控溅射法制备的TiC/α-C:H纳米复合涂层研究了尺寸效应对涂层择优取向的影响。涂层的晶粒尺寸通过改变C含量来调节。发现晶粒尺寸对晶粒的择优取向有着重要影响。随着晶粒尺寸减小，TiC的择优取向从面心立方(111) 向 (200)转变。这种择优取向的尺寸依赖效应可以用热力学来解释。本文通过计算与尺寸相关的吉布斯自由能解释了尺寸效应与涂层择优取向的关系