自润滑Cr/C复合镀层的制备和机械性能研究

采用闭合场非平衡磁控溅射技术，固定碳靶电流参数，调节铬靶电流参数，在GCr15轴承钢球、45#钢和单晶硅基体上制备出自润滑Cr/C复合镀层。用XRD对镀层相结构进行分析，测试了镀层的摩擦系数、磨损率、结合强度、硬度和韧性，用光学显微镜观察镀层磨损形貌。结果表明：镀层相结构为非晶态，随铬靶电流变大逐渐向晶态转变；与未镀层的基体相比，镀层有良好的摩擦磨损性能和载荷承载能力；镀层随铬靶电流增加，硬度逐渐降低，韧性逐渐提高。所获铬电流为0.1A和0.3A镀层有很好的自润滑性能，且后者有良好的综合机械性能