溅射超薄Au膜表面形貌的分形表征

采用直流磁控溅射技术制备超薄Au膜，用原子力显微镜观察薄膜的表面形貌。功率谱密度计算结果显示，随着溅射时间增加，高频段曲线拟合直线的斜率增大，相应的分形维数从2.579减小到2.500；而低频段曲线拟合直线的斜率减小，相应的分形维数由2.607增大到2.819，薄膜表面形貌存在多尺度行为。多重分形谱结果表明，随着溅射时间的增加，分形谱宽 从0.051增大到0.118，说明薄膜表面高度分布范围愈来愈宽，表面粗糙度愈来愈大，与rms研究结果一致。样品的 均大于零，说明样品表面最高峰位的数目均多于最低谷位的数目