工作气压对室温溅射柔性AZO薄膜性能的影响

采用射频磁控溅射法在PEN衬底上室温制备了AZO薄膜，并对不同工作气压下（0.05Pa~0.4Pa）沉积薄膜的结构及光电性能进行了研究。结果表明，薄膜具有良好的c轴择优取向，随工作气压增大，薄膜(002)峰强度减弱，晶粒减小，表面粗糙度增大，电学性能下降，薄膜可见光透过率变化不大，但禁带宽度变窄。与玻璃衬底相比，PEN衬底上沉积的AZO薄膜拥有更高的品质因数，获得的最佳电阻率、载流子浓度和霍尔迁移率分别为1.11×10-3Ω?cm、4.14×1020cm-3和13.60 cm2V-1s-1，该薄膜可见光的绝对透射率达到95.7%