MgO缓冲层上钡铁氧体(BaFe12O19)薄膜的制备与性能研究

摘 要: 采用脉冲激光沉积（PLD）技术在(0006)取向的蓝宝石基片上，通过MgO缓冲层诱导生长了BaFe12O19 (BaM)薄膜，研究了沉积温度对BaM薄膜的晶体结构和磁性能的影响规律。X射线衍射(XRD)分析结果表明：在激光脉冲频率6Hz、激光能量180mJ、MgO缓冲层的厚度50 nm和沉积温度为750℃的条件下，制得的BaM薄膜C轴取向最好，其（0008）面的ω摇摆曲线半高宽（FWHM）仅为0.289°。扫描电子显微镜（SEM）结果显示此时薄膜的晶粒已有部分呈六角片状。振动样品磁强计（VSM）测试表明：在750℃时沉积的BaM薄膜面外饱和磁化强度为190emu/ cm3，剩磁比0.82, 薄膜磁性能良好