TiAlN和TiCrAlN薄膜的制备和耐磨性能

采用电弧离子镀和非平衡磁控溅射镀膜技术沉积TiAlN，TiCrAlN薄膜和TiCrAlN/TiCrN复合薄膜。采用扫描电镜（SEM）观察薄膜表面形貌和磨痕形貌，X射线衍射（XRD）检测薄膜结构，俄歇电子能谱仪（AES）分析薄膜成分，摩擦磨损试验评价薄膜的耐磨损性能。实验结果表明，采用Ti/TiN复合膜过渡层，可有效提高薄膜与基体的结合性能；采用磁控溅射与电弧离子镀复合技术制备的TiCrAlN/TiCrN薄膜表面较光滑、粗糙度小，与基体结合强度较高，仅产生较轻微的磨粒磨损和疲劳磨损，具有较优的耐磨性能，适合用于刀具表面处理