硅基太阳能电池TMAH背抛光工艺研究

本文应用TMAH对硅基太阳能电池进行背抛光。研究表明， TMAH抛光效果优于NaOH。其最佳抛光温度为67℃，最佳异丙醇浓度为20ml/L，催化剂吡嗪浓度为2g/L。随着抛光时间的增加，电池的转换效率先增加后减少，最佳抛光时间为90s，多晶硅电池转换效率提高0.33%