电子束蒸镀纳米TiO2薄膜结构、相组成及亲水性研究

利用电子束蒸镀技术，在石英玻璃和单晶Si<100>衬底上制备了纳米TiO2薄膜。研究了衬底温度和退火温度对TiO2薄膜结构、相组成和亲水性能的影响。结果表明，衬底温度为40~240 ℃时，石英玻璃上制备的薄膜为无定型TiO2，单晶Si<100>上制备的薄膜为金红石TiO2，两类薄膜的亲水性均很差。退火温度显著影响薄膜的相组成及亲水性能。石英玻璃上制备的TiO2薄膜经550、650 ℃退火后转变为单一锐钛矿TiO2，具有很好的亲水性能。单晶Si<100>上衬底温度为40℃制备的TiO2薄膜经550-950 ℃退火后，均由单一锐钛矿TiO2组成，随退火温度升高，亲水性逐渐下降；单晶Si<100>上衬底温度为240℃制备的TiO2薄膜经550-950 ℃退火后，均由金红石TiO2和锐钛矿TiO2组成，随退火温度升高，锐钛矿TiO2含量逐渐增加，亲水性逐渐增强