sol-gel法制备的SnO2-TiO2厚膜及其气敏特性研究

采用sol–gel法，以钛酸丁酯、四氯化锡为前驱体制备了不同掺杂量的SnO2-TiO2纳米粉末，样品经300℃、500℃、700℃、900℃退火后，利用浸渍提拉法，在Al2O3陶瓷管表面制备了SnO2-TiO2厚膜。通过XRD和SEM对制备的纳米粉末的物相、形貌进行表征，静态配气法对其气敏性能进行测试，并结合分子轨道理论探讨了气敏机理。实验结果表明：经700℃退火的4at%掺杂的SnO2-TiO2气敏元件，对乙醇气体具有很好的选择性，在工作温度63℃时，对乙醇气体的灵敏度可达1903，响应-恢复时间分别为1s、3s，所制备的气敏元件有望用于乙醇气体的实用化检测