(1-x)Zn_0.97Cu_0.03Zr(Nb_0.93Ta_0.07)₂O₈-xTiO₂陶瓷微波介电性能研究

以分析纯ZnO、CuO、ZrO2、Nb2O5、Ta2O5以及TiO2为原料,采用传统固相法制备(1-x)Zn0.97Cu0.03-Zr(Nb0.93Ta0.07)2O8-xTiO2(x=0,0.4,0.45,0.5,0.55,0.575,0.6)微波介质陶瓷。研究了TiO2对Zn0.97Cu0.03Zr-(Nb0.93Ta0.07)2O8陶瓷的晶体结构、烧结特性、显微形貌以及微波介电性能的影响。结果表明,随着TiO2含量的增加,(1-x)Zn0.97Cu0.03Zr(Nb0.93Ta0.07)2O8-xTiO2陶瓷的晶体结构发生改变,烧结温度明显降低,介电常数逐渐增加,谐振频率温度系数可调节至近零。当x=0.575,陶瓷可在1 070 ℃保温4 h烧结并获得最佳的微波介电性能,介电常数εr=36.25,品质因数Q×f=53 109 GHz,频率温度系数τf=-6.24×10-6/℃