基于PZT压电功能薄膜的能量采集器的研究

根据当前物联网以及无线传感网络的需求，以MEMS技术为依托，结合压电效应,提出了一种基于PZT压电薄膜的单悬臂梁阵列式压电能量采集器。在分析压电能量采集器结构力学特性的基础上，详细介绍了两种不同尺寸微结构的设计、加工和测试。采用ANSYS软件仿真，得出两种微结构的谐振频率分别为3.9kHz和4kH z；利用溶胶-凝胶法制备出15层和20层的PZT压电功能薄膜，电镜扫描其厚度分别是1849nm、2667nm,AFM对比表面形貌其粗糙度分别为1.8nm和2.11nm，后者致密更好，颗粒较小，相变温度相对比较高