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- 2018
衬底温度及退火对液滴外延法生长InAs量子点的影响DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.03.035 Keywords: 量子点,液滴外延法,InAs,衬底温度,退火,物理模型 Abstract: 研究了In液滴法生长InAs量子点时不同衬底温度,以及是否引入退火的量子点生长情况并建立了物理模型。发现In原子沉积在衬底表面会首先沿[11-0]方向形成条状量子线,由于表面能会趋于最小,量子线会分裂成小段成为量子点的核心,当衬底温度从460 ℃上升至480 ℃时,量子点增多的同时量子线减少,且纳米结构的平均高度从4.09 nm上升至4.58 nm。在衬底温度为480 ℃的条件下引入退火后,扫描区域内只存在量子点结构,纳米结构平均高度上升至8.56 nm。认为In液滴法生长量子点,是一个先形成量子线,量子线再分裂形成量子点的核心,继而捕捉由ES势垒束缚在台阶边缘的原子形成量子点的过程,退火的引入会促进量子线-量子点的转化,提高尺寸均匀性,并由此建立了物理模型
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