流延成型法制备2-2型多层(CoFe₂O₄-Pb (Zr_0.52Ti_0.48)O₃)_n磁电复合薄膜

运用流延成型法制备了具有良好铁电铁磁性能的2-2型多层(CoFe2O4-Pb(Zr0.52Ti0.48)O3)n [(CFO-PZT)n]磁电复合薄膜。通过X射线衍射仪、扫描电镜、振动样品磁强计和铁电测试仪测试研究了(CFO-PZT)n复合薄膜的组织结构、铁磁和铁电性能。结果表明,钙钛矿结构的PZT和尖晶石结构的CFO相对均匀地分布在多层复合薄膜各层中,界面平整均匀。随热处理温度的升高,薄膜致密度提高,晶粒长大,但相结构未变,无新相形成。900 ℃热处理的(CFO-PZT)n复合薄膜结晶更完善,磁电性能好,剩余极化强度为32.63 μC/cm2,饱和磁化强度高达80.56 kA/m,在2.29×104 A/m偏置磁场处有最大磁电耦合系数17.69 kV/(cm·T)