LiNi_0.5Co_0.2Mn_0.3O₂陶瓷靶材制备性能研究

采用传统的常压固相烧结的方法制备了LiNi0.5Co0.2Mn0.3O2陶瓷靶材。研究了不同烧结温度对于LiNi0.5Co0.2Mn0.3O2(NCM,523)陶瓷靶断面形貌、物相及晶型结构、相对密度和抗弯强度的影响。通过对NCM陶瓷靶材进行分析表征,研究结果表明,在烧结温度为1 100 ℃时,靶材具有最优的各项性能,其相对密度为98.8%,抗弯强度为65.7 MPa,其各项力学性能均已经到达射频磁控溅射镀膜机所需性能,适合于工业化生产