无氟化学溶液法制备YBa₂Cu₃O_z超导薄膜

采用自主开发的无氟化学溶液沉积法在(00l) LaAlO3单晶片上制备了YBa2Cu3Oz(YBCO)超导薄膜。研究了高温热处理过程中不同成相气氛和渗氧温度对YBCO薄膜结构和性能的影响。采用X射线衍射仪对薄膜进行了织构分析,通过扫描电镜和原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌。采用磁性能测试系统测量了薄膜的超导转变温度和磁化曲线。实验结果表明,在干燥的热处理气氛和400 ℃渗氧制备的YBCO薄膜具有更加优异的性能