|
|
- 2018
原子层沉积法制备氧化锌纳米管DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.10.003 Keywords: 氧化锌,纳米管,原子层沉积法,聚碳酸酯薄膜,生长机理 Abstract: 采用原子层沉积法成功制备出了大小均匀、形貌规则、晶体质量较好的ZnO纳米管,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等对样品表面形貌和物相进行分析,得到的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,纳米管外径2 μm,壁厚150 nm。还可选用其它孔径的聚碳酸酯薄膜以及不同的原子层沉积循环数,控制管壁的厚度,以得到不同直径的ZnO纳米管。该方法工艺简单,操作简便,无任何中间产物,可实现工业化生产
|
