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Keywords: 强电离放电 电介质 臭氧浓度 窄放电间隙
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为实现用电场强度、电子能量控制臭氧产生浓度和臭氧分解,采用α型Al2O3制成电介质薄层(230μm)以及窄放电间隙(110μm)的新工艺,取得折合电场强度E大于400Td的强电离放电,电子取得平均能量大于10eV,臭氧浓度达到200g/m3,臭氧产生效率达到100g/(kW·h).进而实现臭氧产生装置生产组合模块化、小型化
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