Al2O3保护层对高温下Pt/ZnO/Al2O3电极导电稳定性的影响

摘要： 本工作研究了Al2O3保护层的厚度对高温下声表面波器件电极导电稳定性的影响, 采用激光分子束外延方法在Pt/ZnO/Al2O3电极上制备了不同厚度的Al2O3保护层。通过测量样品高温环境中的实时电阻, 发现Al2O3缓冲层的厚度对电极在高温下的导电稳定性的影响非常大。结果表明, 没有Al2O3保护层时, Pt/ZnO/Al2O3电极的电阻升温至800 ℃时开始急剧地增加。当包覆40 nm的Al2O3保护层时, 电极在升温至900 ℃以上才出现电阻值剧烈增加的现象。而随着Al2O3保护层厚度的增加, 电极的电阻在高温下的导电性能也更加稳定。SEM测试结果表明, 经过1000 ℃、1 h的高温测试后, Al2O3保护层越薄的Pt/ZnO/Al2O3电极, 结块形成的Pt颗粒越大与不连续的Pt空洞更多。这些结果为制备高温下稳定工作的声表面波器件提供了一条新的思路。