TiO2中间层对基于溶胶-凝胶法制备的VO2薄膜 光学特性的影响

摘要： 为了提高VO2薄膜的热致相变性能, 采用复合结构与掺杂相结合的方法, 首先通过溶胶-凝胶法在云母基底上制备锐钛型TiO2薄膜, 再在光致亲水性处理的TiO2/云母基底上涂覆V2O5以及掺钨V2O5水溶胶, 然后经热处理获得VO2/TiO2及VxW1-xO2/TiO2复合薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)研究薄膜的物相、表面形貌以及热致相变特性. 结果表明, VO2/TiO2复合薄膜晶体生长为(011)面择优取向; VxW1-xO2/TiO2复合薄膜产生多种取向。TiO2中间层有助于使VO2薄膜生长致密, 相变温度降低, 更使VxW1-xO2/TiO2复合薄膜滞后温宽降至约4℃。