SAPMAC法长蓝宝石晶体的温场设计、工艺分析与控制
Keywords: 蓝宝石,冷心放肩微量提拉法,温度场设计,工艺优化
Abstract:
摘要： 采用SAPMAC法, 以a向为结晶取向, 生长出φ 240mm ×210mm, 重27.5kg的完整透明的蓝宝石单晶. 从理论上探讨了缺陷密度及晶体开裂与温度分布、生长速率、冷却速率等晶体生长工艺参数之间的关系. 设计了SAPMAC法生长大尺寸晶体的最佳温场分布、 工艺控制. 利用专用设备加工出大尺寸晶棒、板状窗口, 并测试了标准样品的红外透过性能.
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