立方 TaN纳米粉的制备

摘要： 采用直流电弧法使金属钽和氮气直接反应制备出了TaN纳米粉．利用XRD、XPS、TEM等测试方法对所制备的TaN纳米粉进行了表征．结果表明: 所制备的纳米粉为单一的立方相TaN, 纳米颗粒的平均粒度为5~10nm．实验中还发现氮气的气压对制备纯立方相TaN具有关键性作用, 并讨论了立方相TaN的形成机理．