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Keywords: 椭偏光谱,光学常数,铁电薄膜
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摘要: 用溶胶凝胶法在Si(100)衬底上制备了(Pb,Ca)TiO3铁电薄膜样品,测量了其在2.3~5.0eV能量范围的椭偏光谱,并获得样品的膜厚和在该区间的光学常数谱.实验发现Pb离子被Ca离子取代后,折射率峰向低能方向移动;同时随着Ca含量的增加,(Pb,Ca)TiO3的吸收边向低能方向移动,表明Ca离子取代Pb离子后,禁带宽度Eg减小.还讨论了引起折射率峰移动和禁带宽度Eg减小的原因.
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