反应自生成AlN传质过程的研究

摘要： 根据反应自生成AIN的传质及生长特征，构造出传质模型，并建立了传质方程.分析表明：整个反应过程分AlN晶体生长并伴随Si元素富集及AlN、Sicry，晶体共生两个阶段进行;N原子的扩散传质速率是控制总反应速率的关键因素.