CVI制备Si3N4p/Si3N4透波材料表征与性能

摘要： 以SiCl4-NH3-H2为反应体系, 采用化学气相渗透(CVI)法制备Si3N4p/Si3N4透波材料. XRF测试表明试样主要含Si、N、O三种元素. XRD测试表明复合材料主要成分为α-Si3N4和非晶沉积物和非晶SiO2, 并有微量的β-Si3N4和晶体Si, 高温热处理可使非晶沉积物转变为α-Si3N4和β-Si3N4. SEM照片显示颗粒团间结合不够致密, 残留气孔偏大. 试样的弯曲强度最高为94MPa, 介电常数为4.1～4.8.