MgxZn1-xO薄膜的结构特性研究

摘要： 采用射频磁控溅射法在80℃衬底温度下制备了MgxZn1-xO(x=0.23)薄膜, 用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)、喇曼(Raman)光谱和原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的结构特性. XRD和HRTEM分析结果表明MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构, 且具有沿c轴的择优取向, 晶格常数与ZnO晶体的近似相等. Raman光谱不仅揭示MgxZn1-xO薄膜具有六角纤锌矿结构, 而且也表明MgxZn1-xO薄膜的结晶质量比在相同条件下制备的ZnO薄膜好. AFM图像则显示出MgxZn1-xO薄膜为多晶结构.