激活温度对C-H体系低压金刚石生长条件的影响

摘要： 本文根据非平衡热力学耦合模型计算了不同激活温度下的金刚石生长相图，研究了不同激活温度下金刚石生长区的变化．激活温度升高，金刚石生长区变大，有利于生长金刚石．对干不同的衬底温度，随激活温度的升高，金刚石生长区的变化也有所不同．