离子束技术沉积羟基磷灰石薄膜的结构及溶解性能

摘要： 分别采用离子束溅射和离子束增强沉积技术，以烧结羟基磷灰石（HA）陶瓷为靶材，在纯钛金属基片表面沉积HA薄膜．X光电子能谱分析表明：薄膜中Ca、P、O元素的化学态与所用HA陶瓷靶材相接近；相比HA靶材，薄膜表面存在CO32-．X射线衍射分析表明：沉积薄膜均为非晶态结构，经650℃退火处理转变为结晶磷灰石．在模拟体液中的溶解实验揭示：薄膜仅与溶液中Ca、P和O存在离子交换；薄膜易降解，浸泡10天，样品经历了降解、再沉积过程；相比离子束溅射沉积膜，离子束增强沉积膜具有加速沉积Ca、P的能力．