电容器用TiCN/Al复合铝箔的制备及其耐蚀性研究

摘要： 基于多弧离子镀技术制备了一种新的高容量电容器用TiCN/Al复合铝箔, 研究了C2H2和N2流量比及沉积后冷却方式对TiCN/Al复合铝箔比电容的影响. 通过极化曲线的测定, 对比研究了TiCN/Al复合铝箔和传统工艺刻蚀铝箔的耐蚀性能. 研究结果表明, 多弧离子镀技术制备的TiCN/Al复合铝箔的比电容高达1600uF/cm2, 比传统工艺刻蚀的铝箔提高约2倍. TiCN/Al复合铝箔在电容器用电解质溶液中存在较宽范围的稳定钝化区, 其耐蚀性能明显高于传统工艺刻蚀铝箔.