冲击波合成立方氮化硅的烧结稳定性研究

摘要： 以冲击波合成的γ-Si3N4粉体为原料, Y2O3-Al2O3-La2O3体系作烧结助剂, 在5.7GPa、1370~1670K的高温高压条件下, 进行了γ-Si3N4粉体的烧结. 研究了不同烧结温度对γ-Si3N4稳定性、相对密度、力学性能及显微结构的影响. 结果表明: γ-Si3N4在 1420~1670K的条件下, 完全相变为β-Si3N4, 在1370K左右的条件下, 发生部分向β-Si3N4相变. 在5.7GPa, 1370K的条件下, 烧结样品的相对密度与维氏硬度分别为98.83%和21.09GPa.