Ce、Pr共掺LSO多晶薄膜的溶胶-凝胶法制备及其发光性能

摘要： 采用溶胶-凝胶法结合旋涂工艺在单晶硅(111)上制备了Ce3+、Pr3+共掺杂的硅酸镥(Lu2SiO5)薄膜, 采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和荧光光谱(PL)对(Ce,Pr):Lu2SiO5薄膜的物相、表面形貌及发光性质进行了研究和表征。结果表明: 薄膜样品在1000℃下形成了A-Lu2SiO5纯相; 在1100℃下形成了B-Lu2SiO5纯相。经1100℃煅烧后, 通过SEM可以观察到薄膜表面均匀、平整、无裂纹, 晶粒大小为200~300 nm, 旋涂10层的薄膜厚度约为320 nm。从PL谱中可以发现: 在共掺杂体系里, Pr3+在跃迁过程中, 有一部分能量传递给Ce3+离子, 使Ce3+产生特征能级跃迁, 并且使Ce3+发射强度比单掺杂Ce3+时的发射强度更强。