不锈钢基底上离子源辅助激光制备CeO2薄膜及其结构分析

摘要： 室温下在不锈钢基底上应用Ar+离子源辅助，准分子脉冲激光沉积了CeO2薄膜．研究结果表明：在合适的工艺条件下，直接在不锈钢基底上可以制备出c轴取向的CeO2薄膜，但这时的CeO2薄膜在其a－b平面内没有观察到织构的信息；进一步在相同的条件下，首先在不锈钢基底上制备一层YSZ（Yttria－StabilizedZirconia），再在YSZ／不锈钢上制备CeO2薄膜，实验结果显示出这时的CeO2薄膜不但是c轴取向，同时在其a－b平面内织构．CeO2（202）射线φ扫描图给出其全宽半峰值为20°