用VTE方法在蓝宝石衬底上生长γ-LiAlO2薄膜

摘要： 利用气相传输平衡技术(VTE)和后退火处理工艺在(0001)蓝宝石衬底上获得了高度[100]取向的γ-LiAlO2薄膜. X射线衍射表明是由单相的γ-LiAlO2 所组成. 此薄膜经850～900℃/120h空气中退火处理后显示出高度的[100]取向. 这一实验结果意味着有望通过VTE方法制备用于GaN基器件外延生长的γ-LiAlO2 (100)- Al2O3(0001)复合衬底.