有机凝胶法制备Sr0.5Ba0.5Nb2O6铁电薄膜及其电性能研究

摘要： 采用有机凝胶法制备了Sr0.5Ba0.5Nb2O6(SBN50)铁电薄膜. 研究了pH值和EDTA的用量对Sr-Ba-Nb前驱体溶液稳定性的影响，并对不同pH值条件下获得的Sr-Ba-Nb干凝胶的 热分解历程进行了对比. 计算和实验结果表明, 制备Sr-Ba-Nb前驱体溶液的最佳pH=8, EDTA: 金属离子(摩尔比)=2:1. 在700℃下退火30min所得SBN50薄膜为单一钨青铜结构多晶薄 膜. 室温下, 测试频率1kHz时, 薄膜的介电常数为221, 介电损耗为0.02, 剩余极化强度Pr=8.17μ/cm2, 矫顽场Ec=16.9kV/cm.