AlN陶瓷的高压烧结研究

摘要： 以自蔓延高温合成的AlN粉体为原料, 用六面顶压机在高压(3.1～5.0GPa)下实现了未添加烧结助剂的AlN陶瓷体的烧结. 研究了烧结工艺参数对AlN烧结性能的影响. 用XRD、SEM对AlN高压烧结体进行了表征. 研究表明: 高压烧结能够有效降低AlN陶瓷的烧结温度并缩短烧结时间, 烧结体的结构致密. 在5.0GPa/1300℃条件下高压烧结50min的AlN陶瓷的相对密度达94.9%. 在5.0GPa/1700℃/125min条件下制备的AlN陶瓷晶格常数比其粉体减小了约0.09%.