低氟TFA-MOD工艺快速制备YBCO超导厚膜的研究

摘要： 为提高TFA-MOD工艺制备YBCO薄膜的生产效率, 实验采用了丙烯酸盐对传统三氟乙酸盐进行部分替换. 由于前驱溶液中氟含量的减少, 低温预处理过程升温速率可达到300℃/h; 并通过对低温预烧工艺中气氛的调整, 避免了增稠剂二乙醇胺的添加对薄膜质量造成的不利影响, 使其添加上限达到0.75g/5mL. 经过工艺改进, 单次涂膜厚度可达到1μm. 虽然由于厚度的增加, 表面有a轴晶粒出现, 但薄膜内部仍具有较优的微观结构. 其临界电流密度(Jc)及临界转变温度(Tc)分别达到3.5MA/cm2和90K.