SiO2薄膜对蓝宝石红外透过性能的改善

摘要： 采用射频磁控反应溅射法在蓝宝石衬底上制备了SiO2薄膜, 测试了镀膜前后蓝宝石试样的红外透过率, 测试并分析了镀膜与未镀膜蓝宝石试样在高温及雨蚀后的红外透过性能. 结果表明, 蓝宝石衬底上镀SiO2膜后红外透过率明显提高; 在高温下, SiO2薄膜依然具有很好的增透作用, 镀膜蓝宝石试样的平均透过率明显高于未镀膜蓝宝石试样的平均透过率; 雨蚀测试后, 镀膜蓝宝石试样的平均透过率损失很小, 镀膜蓝宝石的红外透过率明显高于未镀膜蓝宝石的红外透过率.