高压热处理对AlN陶瓷显微结构及导热性能的影响

摘要： 热处理是AlN陶瓷调整结构、改善性能的有效手段. 利用国产六面顶压机, 在5.0GPa高压条件下, 对高压烧结制备的AlN(Y2O3)陶瓷进行了热处理, 研究了高压热处理对AlN陶瓷显微结构及导热性能的影响. 结果表明：经5.0GPa/970℃/2h高压热处理后的AlN陶瓷材料与未热处理的试样相比, 晶粒尺寸显著增大, 晶粒形状越发规整, 第二相均位于晶界处或者三角晶界区域, 热导率达到了173.2W/(m·K), 是未经过热处理试样的2.2倍. 但是, 将高压热处理时间延长到4h, AlN陶瓷的气孔增大, 出现了反致密化现象, 热导率也降低到80.9 W/(m·K).