等离子喷涂碳化硼涂层相组成和电学性能研究

摘要： 采用大气等离子喷涂，在不同喷涂距离下制备了碳化硼涂层，研究了喷涂距离对碳化硼涂层的显微结构、相组成和电导率的影响．用EDS和XPS分析了涂层的相组成；扫描电镜观察涂层的显微结构；标准四探针法测量涂层的电导率．结果表明，喷涂距离不仅会影响碳化硼涂层的显微结构，而且会改变碳化硼涂层的相组成；等离子喷涂碳化硼涂层的表面电导率随温度的增加而增加，表现出明显的半导体特性；涂层表面电导率同相组成和显微结构密切相关，涂层中B2O3相含量越高，气孔率越大，则涂层的电导率越低．