三氯氢硅精馏过程的模拟与优化

采用化工流程模拟软件，对三氯氢硅精馏的双塔流程进行了模拟计算，在产品质量达到工艺要求的基础上，对精馏过程各塔的主要参数进行了分析优化。计算得到预分离塔的最适宜进料板位置、回流比、塔顶采出量分别为6、18、250kg/h，三氯氢硅塔的最适宜进料板位置、回流比、塔顶采出量分别为12、5、2453kg/h，并且最适宜的进料温度范围为25~35℃。将优化后的参数应用到实际设计和生产中，三氯氢硅塔塔顶产品各组分含量的模拟结果与工业数据基本一致，三氯氢硅纯度大于0.999。